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全自動塗佈裝置
,
半導體塗佈裝置
全自動高階點膠機 FAD5700
以雙噴頭兼顧高生產性與塗佈精度 為 MUSASHI 的 FA 旗艦機型。
Point
・對應最先進半導體製程(WLP/PLP/Chiplet/異質晶片整合)。
・可在業界最高水準的 KOZ 區域進行塗佈。
Update
・搭載多頭獨立控制與塗佈重量自動補正功能。
・最新 UI 有助於省人化作業。
・透過不停機連續動作實現高速對位:Mu SKY Capture 功能。
・透過不停機連續動作進行高度測量:Mu SKY Sensing 功能。
・塗佈量管理自動化:DVM 功能。
・預防大量不良發生:AFC 功能。
SPECIFICATION
概要規格
名稱
DISPENS MASTER
型式
FAD5700
控制方式
PC/PLC 控制(符合 SMEMA)