真空腔體塗佈裝置 MBC-V SERIES

・ 實現減壓下的高精度・穩定塗布：
藉由武蔵獨有的點膠技術，即使在減壓環境下仍可穩定塗布。
・ 預防大量不良：
搭載源自 FAD5100S、針對 UF（underfill 底部填充）特化的 DVM・AFC 兩大功能，
能精準掌握不斷變化的製程，防止不良發生
・ 提案最先端製程的塗布自動化產線：對連接搬送機器人的單機（stand-alone）、
多腔體（multi-chamber）、連線（in-line）等各式自動化產線提供整體（total）支援。